ASML 推出 High NA EUV 光刻机 TWINSCAN EXE:5000 乐高套装

IT之家最新报道指出，ASML在其官方纪念品商城上推出了一款特别的产品：世界上首个High NA EUV光刻系统TWINSCAN EXE:5000的乐高模型套装。

TWINSCAN EXE:5000光刻机是首款使用0.55NA数值孔径的光刻机，分辨率可达8nm，其成像对比度比以往的NXE系列0.33NA EUV系统高出40％，支持2nm逻辑节点图案化，单价高达3.5亿欧元（折合约26.8亿元人民币）。

这款乐高套装是由ASML的开发人员Rick Lenssen设计的，他也是一位乐高爱好者。这个套装拥有851个部件，尺寸为352×99×64毫米，售价为227.95美元（合约1653元人民币）。

Rick Lenssen曾历时2.5年（包括1.5年的设计蓝图和1年的实际组装）用乐高积木复制了ASML的费尔德霍芬主园区，还推出了许多ASML主题的乐高套装产品。

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